Reinstwasser- Behandlung ganz spezieller Art

Nicht jeder Kunde verlangt Rein- und Reinstwasser. Für spezielle Applikationen insbesondere in der Halbleiterfertigung haben wir individuelle Konzepte zur Reinstwasserbehandlung entwickelt und u.a. zum Patent angemeldet:

APWS – Antistatic Pure Water System
Ein patentiertes System zur individuellen Dosierung des CO2-Eintrags (Erhöhung der Scheinleitfähigkeit) in Reinstwasser zur Reduzierung der elektrostatischen Aufladung in mechanischen Wafer- Bearbeitungsprozessen.

Weitere Anwendungen:

• Reinstwasser Konditionierungssyteme für die mechanische Waferbearbeitung
• Reinstwasser -Temperier-  und Kühlsysteme zur Versorgung von Wafersägen (Spindelkühl – und Sägewasser mit Adaptierung der Raumtemperatur auf ± 0,5 K)
• Reinstwasser-Recyclingsysteme für eine Aufbereitung von bis zu 75 % des eingesetzten Prozesswasser
• Reinstwassersysteme (silikatfrei) für Bewitterungsprüfungen
• Membranentgasungsanlagen zur Speisung von  Dampferzeugern gem. EN285
• Umlaufreinigungssysteme für die Glasindustrie