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Mikroelektronik_MikrostrukturenENMicroelectronics_Microstructures

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Mikroelektronik & Mikrostrukturen

Dieses Geschäftsfeld gehört zu unseren langjährigsten Segmenten des Anlagen­baus. Langsam und stetig haben wir uns mit dem technologischen Fortschritt der Halbleiterindustrie, Photovoltaik und Waferherstellung auseinandergesetzt und stets Reinstwasser in allerhöchster Güte u.a. für Produktionen mit minimalen Strukturbreiten geliefert. Insbesondere für den Bereich der Forschung & Entwicklung von Mikrostrukturen sind wir für viele Institute und Einrichtungen ein gefragter Partner für kleinere und individuelle Wasseraufbereitungsanlagen. Aber auch zentrale nationale und internationale Produktionslinien werden mit einer Leistung von bis zu 25 m3/h und mehr versorgt.

Neben dem Anlagenbau greift das Thema Prozesswasserrecycling zunehmend mehr in die Wasserbilanz ein: Reclaimeinheiten für Produktabwässer sowie Abwasseranlagen für die Direkteinleitung, Temperierung von Waferwasser und viele spezifische Sonderlösungen stehen auf unserer Referenzliste.

Mikroproduktion mit Nassfertigung unter höchsten ReinraumbedingungenRespiratorenherstellung<br />(Mikro-Kunststoffbereich) mit ReinstwasserWaferproduktion –<br />Reinstwasserdosierung für Dicing-AnlagenForschung und Entwicklung von Mikrostrukturen –<br />Reinstwasser nach ASTM D 5127-99 E-1.2Reinstwasser für die Elektronikindustrie –<br />nach VDI 2083Prozesswasser/Reinigungswasser für nasschemische Produktionen
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